Optics for Electrons from an Object, Use Thereof in a Spectrometer for X-ray Photoelectron Spectroscopy for Electrons from an Object, and Spectrometer

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This patent describes an advanced electron optics system designed for detecting electrons emitted from a sample, particularly for use in X-ray photoelectron spectroscopy (XPS). It uses a series of adjustable ring electrodes and apertures to focus and select electrons based on their kinetic energies, with potentials that can be dynamically set for optimal electron focusing. The device also features a configurable distance between the sample and the optics, and a vacuum-compatible housing for flexible installation.

Use CasesContent extracted from patent full text and abstract with AI.

• X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) for material science and surface analysis
• Advanced electron spectroscopy systems for chemical and physical analysis of surfaces
• Integration into scientific instrumentation for high-resolution electron detection
• Upgrades to existing XPS or electron spectroscopy equipment for improved performance
• Quality control in semiconductor and electronics manufacturing by surface characterization

BenefitsContent extracted from patent full text and abstract with AI.

• Allows dynamic adjustment for focusing electrons with different kinetic energies, improving measurement accuracy
• Enhanced flexibility due to electronically adjustable potentials and distances
• Vacuum-compatible construction enables operation in high-vacuum environments required for surface analysis
• Reusable and easily mountable design increases versatility and ease of maintenance
• Improved signal quality and reduction of background noise in spectroscopic measurements

Technical Classifications (CPCs)

Inventors & Applicants

Patent Abstract

Die Erfindung betrifft eine Elektronenoptik (EO) für Elektronen aus einem Objekt (O), die mindestens eine erste, eine zweite und eine dritte elektrostatische Ringelektrode (R1, R2, R3) aufweist, welche differentiell abpumpbar sind. Die erste (R1) und dritte Ringelektrode (R3) liegen dabei dynamisch auf einem ersten Potential (V2) und die zweite Ringelektrode (R2) dynamisch auf einem zweiten Potential (V3), welche einstellbar sind, sodass eine Fokussierung von Elektronen dynamisch an unterschiedliche kinetische Energien von Elektronen anpassbar ist. Vor der ersten Ringelektrode (R1) ist eine erste Blende (B1) angeordnet ist, welche auf ein drittes Potential (V1) einstellbar ist. Die Potentiale (V1, V2, V3) sind über steuerbare Netzteile mit Eingängen für Steuersignale einstellbar. Ein Abstand zwischen dem Objekt (O) und der ersten Blende (B1) von mindestens 15 cm ist durch eine Fokussierung der Elektronenoptik (EO) einstellbar. Ein vakuumtaugliches Gehäuse (G) der Elektronenoptik (EO) weist Mittel zur reversiblen Befestigung der Elektronenoptik (EO) auf.