Method for Quality Control of a Microstructuring and Device Therefor

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This invention describes a method and device for quality control of microstructuring on surfaces. It works by shining light on the microstructured area, detecting the intensity of the reflected light with two detectors, and comparing these measured values to the expected intensities corresponding to a correctly formed microstructure. This allows for precise assessment of whether the microstructure matches the desired specifications.

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• Quality control in semiconductor manufacturing to verify micro-patterns on chips
• Inspection of micro-structured surfaces in MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems) production
• Verification of micro-patterned security features on documents or banknotes
• Assessment of microstructuring in biomedical devices, such as lab-on-a-chip technologies
• Evaluation of fabricated components in the optics industry (diffractive optical elements, micro-lenses, etc.)

BenefitsContent extracted from patent full text and abstract with AI.

• Provides a non-destructive and precise quality check for microstructured surfaces
• Enables real-time or rapid inspection during manufacturing processes
• Improves product reliability by ensuring microstructures meet exact specifications
• Reduces the risk of defects going undetected, supporting higher yield
• Can be integrated into automated production lines for continuous quality assurance

Technical Classifications (CPCs)

Inventors & Applicants

Patent Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Qualitätskontrolle einer Mikrostrukturierung auf einer Oberfläche, umfassend die Schritte a) Bereitstellen eines mikrostrukturierten Gegenstandes (2) aus Substrat und Mikrostrukturierung, bei dem der Sollzustand der Mikrostrukturierung bekannt ist, b) Einstrahlen von Licht aus einer Lichtquelle (1) in den Bereich, in dem der Gegenstand die Mikrostrukturierung aufweist, c) Detektieren der Intensität von reflektiertem Licht mit einem ersten Detektor (4) und d) Detektieren der Intensität von reflektiertem Licht mit einem zweiten Detektor (10) und e) Vergleichen der in Schritt c) und d) gemessenen Intensität mit den Intensitäten, die eine Mikrostruktur im Sollzustand bei der gleichen Stellung der Detektoren (4) und (10) aufweisen würde.