Method for Generating Time-Varying Analog Voltages and Associated Voltage Generator, in Particular for Beam Guidance in Fine Beam Lithography

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This invention describes a method and a voltage generator for producing time-varying analog voltages using a graphics processor. A control program running on the processor generates a digital sequence that is encoded similarly to a video signal. This pseudo-video signal is then transformed back into a sequence of voltage values, which are converted to analog voltages by a digital-to-analog converter. The system is particularly designed for beam control in fine beam lithography applications.

Use CasesContent extracted from patent full text and abstract with AI.

• Precision control of electron or ion beams in fine-beam lithography for semiconductor manufacturing
• Any system requiring programmable, time-varying analog voltages via common digital interfaces
• Scientific instrumentation requiring precisely controlled analog signals generated from digital sources
• Potential use in high-speed test and measurement equipment that benefit from fast, programmable analog voltage generation

BenefitsContent extracted from patent full text and abstract with AI.

• Utilizes standard graphics processor interfaces and digital signal processing techniques, enabling cost-effective implementation
• Enables high-resolution and time-varying analog voltage generation with precision
• Can be easily programmed and updated via software without hardware modifications
• Suitable for advanced lithography and other precision applications needing complex voltage control

Technical Classifications (CPCs)

Inventors & Applicants

Patent Abstract

Zur Erzeugung mindestens einer zeitlich variierenden Analogspannung (U1, U2) ist vorgesehen, mittels eines in einem Grafikprozessor (7) ablaufenden Steuerprogramms (13) ein Nicht-Bildsignal (N) zu erzeugen, das eine Spannungssequenz (S) mit digital kodierten Spannungswerten (W1, W2) für die mindestens eine zu erzeugende Analogspannung (U1, U2) umfasst. Das Nicht-Bildsignal (N) wird durch das Steuerprogramm (13) in ein Pseudo-Bildsignal (P) umgewandelt, das der Kodierung nach einem digitalen Bildsignal entspricht. Das Pseudo-Bildsignal (P) wird über eine von dem Grafikprozessor (7) angesteuerte, digitale Bildsignalschnittstelle (9) an einen Encoder (11) ausgegeben. Mittels des Encoders (11) wird aus dem Pseudo-Bildsignal (P) die Spannungssequenz (S) extrahiert und an mindestens einen Digital-Analog-Wandler (10) übermittelt. Mittels des mindestens einen Digital-Analog-Wandlers (10) wird die Spannungssequenz (S) in die mindestens eine Analogspannung (U1, U2) umgewandelt. Ein zur Durchführung des Verfahrens eingerichteter Spannungsgenerator (1) wird insbesondere zur Strahlführung bei einer Feinstrahllithographie verwendet.