Contact Device, Heating Conductor Holder, Apparatus and Method for Coating a Substrate by CVD

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The invention describes a contact device for an apparatus used in coating a substrate via chemical vapor deposition (CVD). The device improves the connection between a heating element and an electrode using a spring or weight force to maintain a reliable sliding contact. The contact area uses specialized metals that can form metastable carbides, enhancing durability and conductivity. The patent also covers related holders for the heating element, the overall apparatus, and a method for substrate coating using the enhanced contact device.

Use CasesContent extracted from patent full text and abstract with AI.

• Industrial CVD reactors for semiconductor manufacturing
• Production lines for coating glass, metals, or ceramics
• Manufacturing solar panels that require specialized coatings
• Fabrication of wear-resistant or conductive surface layers for tools and mechanical parts

BenefitsContent extracted from patent full text and abstract with AI.

• Ensures a stable and reliable electrical contact during CVD processes
• Enhances durability of contacts due to use of carbide-forming metals
• Allows for better coating uniformity by maintaining precise heating control
• Reduces maintenance requirements due to improved wear resistance of the contact area

Technical Classifications (CPCs)

Inventors & Applicants

Patent Abstract

Die Erfindung betrifft eine Kontakteinrichtung für eine Vorrichtung zum Beschichten eines Substrats (9) mittels CVD. Die Kontakteinrichtung umfasst einen Heizleiter (5) und eine Elektrode (1,6) mit einem Kontaktbereich. Der Heizleiter (5) wird durch die Wirkung einer Federkraft und/oder Gewichtskraft mechanisch gespannt gehalten und erfährt durch die Wirkung der Federkraft und/oder Gewichtskraft eine zur Elektrode (1,6) hin ausgerichtete Kontaktkraft, so dass der Heizleiter (5) die Elektrode (1,6) im Kontaktbereich unter Ausbildung eines Schleifkontakts (3a,8a) berührt. Der Kontaktbereich besteht aus einem ersten Werkstoff und/oder weist den ersten Werkstoff als Beschichtung auf einem zweiten Werkstoff auf. Der erste Werkstoff besteht zu 1 Gew.-% bis 100 Gew.-% aus Metall, welches metastabile Karbide bildet. Weiterhin betrifft die Erfindung einen zumindest eine erfindungsgemäße Kontakteinrichtung umfassenden Heizleiterhalter. Schließlich betrifft die Erfindung eine Vorrichtung mit zumindest einer erfindungsgemäßen Kontakteinrichtung bzw. mit zumindest einem erfindungsgemäßen Heizleiterhalter sowie ein Verfahren zum Beschichten eines Substrats (9) mittels CVD unter Verwendung der erfindungsgemäßen Vorrichtung.